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研究・開発用として1枚からお求めいただけるシリコンウェハーです。
装置の条件出し、ダイサーやBGのプリカット、搬送テストなどの用途に使用可能です。
モニターウエハーはもちろんのこと、規格品以外にも各種サイズ､各種厚み､パーティクルウエハー対応致します。
価格(税別)
| サイズ | 25枚セット | |
| 76mm | 3インチ | ￥145,000(¥5,800/枚)のところ特別価格 ￥137,000 |
| 100mm | 4インチ |
￥145,000(¥5,800/枚)のところ特別価格 ￥137,000 |
| 125mm | 5インチ | ￥145,000(¥5,800/枚)のところ特別価格 ￥137,000 |
| 150mm | 6インチ | ￥145,000(¥5,800/枚)のところ特別価格 ￥137,000 |
| 200mm | 8インチ | お問い合わせ下さい |
※通常ミニマムロット25枚での販売になります。
仕様
| 76mm | 100mm | 125mm | 150mm | 200mm | |
|---|---|---|---|---|---|
| 直径許容差(mm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
| ウェーハ厚さ(μm) | 380 | 525 | 625 | 625 | 725 |
| 厚さ許容差(μm) | ±15 | ±15 | ±15 | ±25 | ±25 |
| 厚さむら最大(μm) | 25 | 10 | 10 | 10 | 10 |
| 導電型 | P型 | P型 | P型 | P型 | P型 |
| オリフラ | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° | {110}±1° |
規格品（上記一例になります。）以外にも、P型/N型・オリフラ／Vノッチ・結晶方位などご指定いただけましたら、ご要望に応じて対応致します。
各種膜ウエハーも小ロットから対応いたします。
その他 各種材質の基板も取り扱っております。
- ガラス基板
- サファイアウェハー
- SiCウェハー
- 石英・水晶など
その他、TEG(Test Element Group)チップの制作も承っておりますので、まずは一度お問い合わせください。