エッチングチャンバー (1槽タイプ)

エッチングチャンバー (1槽タイプ)
半導体製造過程における、エッチング工程・洗浄工程等での使用に適したドラフトチャンバーです。

価格(税別)

PVCスタンダードタイプ

型式 品番 サイズ(mm) 質量(約kg) 価格
PS-1200 3-5860-11 1200×820×2150 161 ¥940,000
PS-1500 3-5860-12 1500×820×2150

187

¥1,090,000
PS-1800 3-5860-13 1800×820×2150 223 ¥1,180,000
PS-2400 3-5860-14 2400×820×2150 295 ¥1,790,000


PVCディープタイプ

型式 品番 サイズ(mm) 質量(約kg) 価格
PD-1200 3-5895-11 1200×970×2150 191 ¥1,080,000
PD-1500 3-5895-12 1500×970×2150 212 ¥1,250,000
PD-1800 3-5895-13 1800×970×2150 253 ¥1,350,000
PD-2400 3-5895-14 2400×970×2150 335 ¥2,060,000

耐熱PVCスタンダードタイプ

型式 品番 サイズ(mm) 質量(約kg) 価格
PSH-1200 3-4620-11 1200×820×2150 181 ¥1,260,000
PSH-1500 3-4620-12 1500×820×2150 212 ¥1,500,000
PSH-1800 3-4620-13 1800×820×2150 253 ¥1,620,000
PSH-2400 3-4620-14 2400×820×2150 335 ¥2,370,000

耐熱PVCディープタイプ

型式 品番 サイズ(mm) 質量(約kg) 価格
PDH-1200 3-4620-11 1200×970×2150 211 ¥1,400,000
PDH-1500 3-4620-12 1500×970×2150 242 ¥1,670,000
PDH-1800 3-4620-13 1800×970×2150 283 ¥1,800,000
PDH-2400 3-4620-14 2400×970×2150 365 ¥2,640,000

特長

  • 半導体製造過程における、エッチング工程・洗浄工程等での使用に適したドラフトチャンバーです。
  • 耐酸性・耐アルカリ性に優れた硬質PVC製ですので、酸処理や他の化学薬品を使った作業に便利にご使用いただけます。
  • チャンバー内部の背面にはバッフル板を採用しておりますので比重の重いガスも確実に排気する事ができます。
  • グースネック型の給水栓はチャンバーの前面のハンドルによるリモート操作方式です。

共通仕様

PVCタイプ

耐熱PVCタイプ

本体材質(外装) 硬質PVC(塩化ビニル樹脂) 耐熱PVC(塩化ビニル樹脂)
本体材質(内装) 硬質PVC(塩化ビニル樹脂) 耐熱PVC(塩化ビニル樹脂)
硬質PVC(塩化ビニル樹脂) 耐熱PVC(塩化ビニル樹脂)
給水栓 グースネック型純水用自在水栓
コンセント AC100V-15Aダブル×1個付き
照明 蛍光灯使用、スイッチ付き
耐熱温度 40℃
上記は目安の温度であり、使用状況により異なる場合があります。
60℃
上記は目安の温度であり、使用状況により異なる場合があります。

運送・搬入・組立及び設置・ダクト接続工事について

経験豊富な弊社担当者がお客様のお困りごと・ご希望に寄り添い、ご相談から搬入・据付までサポートいたします。

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