芝浦エレテック(旧 徳田製作所)高真空油拡散ポンプ ESVシリーズ

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高真空油拡散ポンプESVシリーズは、2~62インチまでのラインナップをそろえており、真空熱処理炉、真空蒸着、電子ビーム溶接、スパッタ装置等の排気系に用いられ高真空領域から超高真空領域まで幅広い真空プロセスに用いられております。本ポンプを選定される際には、適切な補助ポンプ、使用圧力範囲等の条件が合いませんと100%能力を発揮できません。本頁性能一覧表を参考に適切なポンプをお選び下さい。

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特長

本シリーズは、超高真空領域から高、中真空領域まで安定した圧力を得るために、ESV-6以下は環状ヒーター、ESV-8以上は内燃式シーズヒーターを採用し、超高真空下の油の突沸による圧力揺動を防いでいます。
ESVシリーズは油を加熱するための熱効率を良くしてあるため(当社比)作動時間が速く、排気量及び臨界背圧が大きいのが特長です。又、動作油量も少なくてすみます。

拡散ポンプ2 ESV3
V-1型,ESV-2AC
型式
  ESV-2AC ESV-3AC ESV-100MT
最大排気速度 [L/s] 110 310 100
到達圧力 [Pa] 10-5Pa 10-5Pa 10-6Pa
作動圧力範囲 [Pa] 10-55×10-1 10-5~5×10-1 10-5~6.5×10-1
臨海背圧 [Pa] 40 50 40
最大排気量 [Pa ・ L/S] 40 105 40
使用油   TS-4 TS-4 TS-4
油量 [L] 0.05 0.1 0.07
ガスケット   バイトン バイトン バイトン
ヒーター 型式   マイカバンド マイカバンド マイカバンド
電圧、相 [ACV,Φ] 100,1 200,1 210,1
電力 [kW] 0.25 0.5 0.28
吸気口   VG50 VG80 VG50
補助口   Φ21 VG25 VG25
冷却方式   空冷 空冷 水冷
冷却推量 [L/min, - - 0.5
at.25ºC]
補助ポンプ   DRP-180YII or RP-180Z DRP-360YII or RP-360Z DRP-180YII or RP-180Z
バッフル形式   2C(シェブロン) 2C(シェブロン) -
バッフル付排気速度 [L/S] 50 140 -
バッフル冷却水量 [L/min,at.25ºC] - - 0.5
油逆流量 [cm3/cm2・min] 10-8 10-8 10-8
材質 シリンダー   AI AI SUS304
ジェット   テツ(Niメッキ) テツ(Niメッキ) テツ(Niメッキ)
質量 [kg] 5 11 3.7
ESV-3,Copyright 2004, IRIE SHOKAI Co., Ltd.,V-1型,ESV-2AC,V-1型,ESV-2AC,V-1型,ESV-2AC,V-1型,ESV-2AC
型式   ESV-3 ESV-4 ESV-6
最大排気速度 [L/s] 380 580 1200
到達圧力 [Pa] 10-6Pa 10-6Pa 10-6Pa
作動圧力範囲 [Pa] 10-63.3×10-1 10-63.3×10-1 10-60.4
臨海背圧 [Pa] 40 40 40
最大排気量 [Pa ・ L/S] 93 190 260
使用油   TS-4 TS-4 TS-4
油量 [L] 0.12 0.18 0.3
ガスケット   Copyright 2004, IRIE SHOKAI Co., Ltd.
バイトン
バイトン バイトン
ヒーター 型式   マイカバンド マイカバンド マイカバンド
電圧、相 [ACV,Φ] 200,1 200,1 200,1
電力 [kW] 0.55 0.75 1.2
吸気口   VG80 VG100 VG150
補助口   VG25 VG25 VG50
冷却方式   水冷 水冷 水冷
冷却推量 [L/min, 1.1 1.5 2
at.25ºC]
補助ポンプ   DRP-360YII or RP-360Z DRP-800 or RP-800ZII DRP-800 or RP-800ZII
バッフル形式   3C(シェブロン) 4C(シェブロン) 6C(シェブロン)
バッフル付排気速度 [L/S] 165 240 450
バッフル冷却水量 [L/min,at.25ºC] 1.1 1.5 2
油逆流量 [cm3/cm2・min] 10-8 10-8 10-8
材質 シリンダー   SUS304 SUS304 SUS304
ジェット   テツ(Niメッキ) テツ(Niメッキ) テツ(Niメッキ)
質量 [kg] 8.5 11 20

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