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真空機器 一覧
高真空油拡散ポンプ ＥＳＶシリーズ
高真空油拡散ポンプESVシリーズは、2～62インチまでのラインナップをそろえており、真空熱処理炉、真空蒸着、電子ビーム溶接、スパッタ装置等の排気系に用いられ高真空領域から超高真空領域まで幅広い真空プロセスに用いられております。
NeoDry 真空ポンプ
定期メンテナンスは３年毎*に一度のロングライフ。を実現！！ トータルコストの低減を追及した空冷式ドライ真空ポンプです。（*定期メンテナンス３年毎は、大気・N2吸引時推奨期間となります。）
